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一種高精度奈米級旋轉軸誤差量測方法與裝置 |
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 專利名稱 |
一種高精度奈米級旋轉軸誤差量測方法與裝置
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| 專利證書號 |
I287616
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
劉建宏,覺文郁,方得華,姬梁文,黃學良,吳星助,王泓澍 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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本發明係有關於一高精度奈米級旋轉軸誤差量測方法與裝置，至少包含一雷射光源、複數個分光鏡、一貓眼反射鏡、一反射式光柵、複數個極化分光鏡、複數個玻片及複數個光感測器組成；該貓眼反射鏡使入射光與出射光相互平行，其構造可以克服角隅菱鏡有接面照成光的不連續問題，使本發明可以有效達成高精度奈米級旋轉軸誤差量測之積極目的。
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| 相關圖片：
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
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電話： 05-631-5561 |
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