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一種雙光束雷射干涉儀檢測直度誤差之系統與方法 |
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 專利名稱 |
一種雙光束雷射干涉儀檢測直度誤差之系統與方法
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| 專利證書號 |
I287617
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
劉建宏,覺文郁,李孟謙,徐東暉,方得華,鄭友仁 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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一種雙光束雷射干涉儀檢測直度誤差之系統與方法，主要係採用光學非接觸式檢測模式，以達成高精確度之要求；而該架構乃包括一個雙光束雷射及多個反射鏡，是設計雙光束之光束架構，當該架構產生直度誤差時，將會使得光束改變即可檢測水平直度誤差(Horizontal straightness error)、垂直直度誤差(Vertical straightness error)；其方法係利用在移動平台上將第二反射鏡組設立，並在固定端安置雙光束雷射與第一反射鏡組，並確定各鏡組在同一水平上；啟動光源，光源會先入射第一反射鏡組，再反射射入第二反射鏡組，此時反射光會垂直於第二反射鏡組，所以又會反射射入第一反射鏡組，最後進入雙光束雷射干涉儀之雙光束讀頭，將二光束之讀值加以計算，即能量測直度誤差。
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| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
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電話： 05-631-5561 |
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