一種利用原子力顯微鏡為基台進行拉伸試驗的裝置與方法
專利名稱 一種利用原子力顯微鏡為基台進行拉伸試驗的裝置與方法
專利證書號 I302984
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 劉建宏,覺文郁,方得華,姬梁文,陳朝貴
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
一種利用原子力顯微鏡(AFM)為基台進行拉伸試驗的裝置與方法,係以原子力顯微鏡掃描模組為基台及具有垂直拉伸能力之平台(或元件)做拉伸試驗,利用原子力顯微鏡掃描模組內建探針、雷射量測點與光檢測器來量測被拉伸物被拉伸時之變形量,再反求其變形力;當垂直拉伸壓電平台或(或元件)拉伸時,其位移量可由垂直干涉儀量測得知,並與探針變形之距離結合即可得知其被拉伸物的位伸量;且將電壓/電流檢測器連接線裝在被拉伸物二端上,便可量測被拉伸物在被拉伸時的電壓-電流-阻抗之關係。

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