高精度兩段式三角雷射共焦探頭
專利名稱 高精度兩段式三角雷射共焦探頭
專利證書號 I290211
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 劉建宏,覺文郁,方得華,姬梁文,陳朝貴,王智鵬,劉建平,王裕翔,陳揚東
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
一種高精度兩段式三角雷射共焦探頭,主要係為兩段式的量測系統,第一段是利用共焦探頭,用於量測較平滑的物面(即物體表面微小高度變化較小);第二段則是使用位置感測器,透過三角雷射量測法量測表面較粗糙的物面(物體表面微小高度變化較高);據此,利用共焦探頭做小範圍近奈米級的量測,再搭配二維的位置感測器透過三角雷射量測法來作大範圍進行掃描,便能提高量測的距離範圍及精度,並提高其解析度。

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