非接觸式之雙向雷射探針
專利名稱 非接觸式之雙向雷射探針
專利證書號 I292817
專利權人 國立虎尾科技大學
專利國家 中華民國,
發明人 劉建宏,覺文郁,方得華,姬梁文,陳朝貴,王智鵬,黃偉銓,陳昭帆,廖宗偉
應用領域 精密量測技術類
 
專利商品特色:
一種非接觸式之雙向雷射探針,其主要利用可產生光與檢測光的訊號之共軛焦探頭,於其發出光源後入射於物鏡,使光源開始聚焦,再入射偏極分光鏡,產生穿透光和反射光,由穿透光和反射光兩道光形成測量X與Z方向的探針,並且透過所接收到的失焦信號反射至原光路,再入射於共軛焦探頭,由共軛焦探頭來判斷被量測物之形狀;據此,提供一種不必設置實體的探針,與待測物體完全不必接觸,相對也不會傷害被量測物表面,即可準確求得量測結果。

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