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全電式奈米壓印器 |
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 專利名稱 |
全電式奈米壓印器
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| 專利證書號 |
I312730
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
中華民國, |
| 發明人 |
劉建宏,覺文郁,陳財源,陳睿宏,趙晚君,林塏璋,張智皓,劉兆恆,黃瀚興,鄭舒壕 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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本發明涉及一種全電式奈米壓印器,是由三自由度微調平台利用撓性變形機構建立奈米位移與角度,配合壓電致動器驅動,能增加奈米精度,提供工作範圍,在三自由度方向誤差的補償可至奈米等級之精度,三自由度微調平台會帶動弓形彈簧和壓電致動器一起移動,再結合應變規所量測的位移及弓形彈簧的彈性係數算出下壓所需施的力,調整模板與基板平行,整合出高精度的奈米壓印技術,改進目前的技術水平,此結構能大幅降低製程的時程及成本並兼具環保觀念。
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| 相關圖片：
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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