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一維掃瞄表面形貌量測裝置與方法 |
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 專利名稱 |
一維掃瞄表面形貌量測裝置與方法
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| 專利證書號 |
I473963
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| 專利權人 |
國立虎尾科技大學 |
| 專利國家 |
, |
| 發明人 |
邱銘宏 |
| 應用領域 |
精密量測技術類 |
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專利商品特色：
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本發明係有關一種一維掃瞄表面形貌量測裝置與方法，其包括光源、偏極板、透鏡、反射鏡、分光鏡、角度感測器、第一光接收器、第二光接收器及運算手段。以光源發出光束投射至待測物，利用角度感測器提升感測靈敏度，再利用第一光接收器及第二光接收器分別接收來自分光鏡的穿透光及反射光，最後以運算手段第一光接收器偵測之光強度除以第二光接收器偵測到之光強度，獲取實際之反射率值，再利用反射率值計算出待測物表面的高度差或縱向位移量。
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聯繫方式 |
| 聯絡人： 國立虎尾科技大學 產學合作處/智財組 王偉儒 |
 與我連絡 |
| 地址： 632雲林縣虎尾鎮文化路64號 |
電話： 05-631-5561 |
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